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Pura Plus

在线微量湿度异动变送器

新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的最新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应最末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

亮点

对 ppb 级别湿度异动的快速响应
低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)
多点测量安装的全新概念
维护要求低
信号灯式的状态指示
可设置警告和报警点
Modbus 网络兼容
远程控制界面的多通道软件
(UHP) 超纯气体的管线检测

技术指标

响应速度	<1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间
湿度量程	1 ppb to 20,000 ppm
压力范围	0 to 10 bar
耐压等级	300 bar
泄漏测试	0-9 mbar l/s
工作流量范围	1 ~ 10 l/min
工作温度	5 ~ 40°C
存储温度	30 ~ 70°C
电源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W 最大
外部保险丝等级	500 mA 快熔型
数据输出	Modbus ASCII 两线 RS485
警告和报警输出	2 路
最大电压	40 V DC
最大电流	100 mA
气体接触的材质
外壳材质	不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra
传感器结构	氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层
内部容积	4.4cm³
重量	450g
气路接口	1/4" m VCR
电气接口	9 - 针 D - 型 m 接口
电磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2